规格参数 | 条件 | 外形图 | 馈通圈 | 可选部件 | 查 询
高速真空镀膜装置 VPC-1100
VPC系列/高速真空镀膜装置


特 性

在管架上紧密安装了油扩散泵、油旋片真空泵、皮拉尼真空计、真空管、电力系统、压力测量口等必要机器,并且配备了钟罩升降装置,是电阻加热式高速型真空蒸发装置。使用与保养检修很简单,最适合用于大基板尺寸的基础研究开发等实验。
 
应 用

电子材料、半导体、太阳能电池的基础研发。
EL 有机层薄膜研发。

规格参数
型 号
VPC-1100
真空性能
极限压力
4.0 × 10-4Pa
1.3 × 10-4Pa (使用液氮时)
排气时间
4.0 × 10-3Pa/10min
10-3Pa/10min (使用液氮时)
真空舱
钟罩尺寸
玻璃钟罩 (直径390mm × 350mm(H))
馈通圈
20个端口(14侧面、6底面)
标准基板・最大尺寸※1
□50mm ・ □220mm(最大)
供电系统
蒸发电极结构
3点式
蒸发电源
SEREM “PSE-150C”,0 – 10V ,150A (最大)
排气系统
主泵※2
油扩散泵(水冷) 1100 L/sec
液氮冷阱
前级泵
油旋片真空泵 100 L/min ×2
油雾过滤器
可选
操作系统
主阀门
瓣阀
副阀门
三向切换阀
自动渗漏阀
可选
控制
手动控制
控制系统
皮拉尼真空计
GP-1G
电离真空计
可选
外形
尺寸(主体)
1235mm(W) × 836mm(D) × 2155mm(H)
尺寸(蒸发电源)
安装在设备的主体
重量(主体)
313kg
重量(蒸发电源)
安装在设备的主体
※1: 不考虑基板最大尺寸时的膜厚分布值。
※2: 可以安装涡轮分子泵(TMP)。

条 件
向前头页
型 号
VPC-1100
电源需求
主体
三相, 200V, 5.0kVA
主体
单相, 100V, 1.0kVA
接地端子 D级(接地抗阻/100Ω 或更低)
附件
主体 : 三相,200V
乙烯绝缘软电缆(R3.5-4帯端子) 4m
主体 : 单相,100V
乙烯绝缘软电缆(带插头) 4m
用水需求 1.5L/min(水温:低于20-25℃,水压:200kPa)
附件 Rp1/4 (带"Kantouch"软管接头)
推荐软管 蒂托轮编织软管(内径9mm×外径15mm)
冷却水管由客户自己准备。

外形图
VPC-1100

蒸发电源 SEREM

馈通圈
标准构造

[1]
挡板
[2]
过滤器
[3]
备用(L)
[4]
备用 (S)
[5]
测压孔1
[6]
真空密封口3个
[7]
开闭器
[8]
电极COM
[9]
电极 1
[10]
电极 2
[11]
电极 3
[12]
支柱
根据研究和开发的目的、可以变更。

可选部件
如果您单击一个选项,您可以看到这个选项中的内容。


查 询
向前头页
爱发科机工株式会社
海外营业部 神奈川县横滨市港北区北新横滨1-10-4
TEL (81)45-533-0206 
 FAX (81)45-533-0205
请联系我们 here


Copyright (C) 2003 ULVAC KIKO, Inc. All Right Reserved. Ver.4.00 (March 2012)
本网页中使用的产品图片、内容、规格会与实际销售的商品有所不同。因技术改良的原因,记载内容若有变更,恕不另行通知。