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ターボ分子ポンプ小型高真空排気装置 VPT-050
 

 
概  要
本機は、空冷式ターボ分子ポンプを組込んだ超小型高真空排気装置です。油回転真空ポンプ、主バルブ(ゲートバルブ)が架台内にコンパクトに納められています。豊富なオプションを組み込むことにより、あらゆる高真空での実験に最適です。
スクロールポンプを採用したドライ仕様もございます。お問い合わせください。

特  長
1. コンパクトで、わずか330mm×450mmの面積に置けます。
2. どこでもすぐ使えます。電源は100V、空冷式です。
3. 静かです。運転音・振動はほとんど皆無です。
4. 到達圧力、排気速度が優れています。
5. 保守・点検が容易です。
6. 価格低廉です。

仕 様
到達圧力 1.3×10-4Pa
排気速度 50L/sec
バックポンプ 油回転ポンプ 50L/min
排気系 メインゲートバルブ 65A(Al製)
マニホールド SUS製
リーク用バルブ(ガス導入兼用 1ヶ)
冷却方式 空冷
周囲温度 7-30℃
吸気口 VG65
所要電力 単相 100V 0.75kVA
質量 45kg
外形寸法 325mm(W)×450mm(D)×700mm(H)


寸 法 図


排気系統図



オプション
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オプション

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