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ターボ分子ポンプ排気装置　VPT-030
ＶＰＴシリーズ／ターボ分子ポンプ＋ドライ真空ポンプ


　
概　　要
架台内にターボ分子ポンプ・ドライ真空ポンプ・バルブ配管・電気系等の必要機器をコンパクトに収納した、ドライタイプで小型の高真空排気装置です。
半導体・分析・検査・理化学・製薬等の各分野における、クリーンな真空環境に最適です。

特　　長
１．
完全ドライの排気ユニットです。
２．
設置スペースがコンパクトです。
３．
ワンプッシュボタンで、到達圧力まで一気に排気します。

仕　様
型　　式
 VPT-030
到達圧力
 10-４Pa台
メインポンプ ターボ分子ポンプ　50 L/sec
補助ポンプ ダイアフラム型ドライ真空ポンプ　7 L/min
吸気口 KF-40
質量 16kg
最大寸法　（W幅×D奥行き×H高さ） 254mm(W)×338mm(D)×300mm(H)
※電離真空計・ピラニ真空計・配管部品はオプションです。
※使用条件により、性能が低下することがあります。
　 補助ポンプとしてVPT-030の排気側にダイアフラム型ドライ真空ポンプDA-15Dを接続してください。

ユーティリティ
型　　式
 VPT-030
所要電気量
 単相　100V　0.46kVA
アース端子
 Ｄ種　（接地抵抗値／100MΩ以下）
取り合い
 ビニルキャプタイヤケーブル（プラグ付）　2m

寸　法　図


排気系統図


オプショナルパーツ
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●オプションをクリックすると、各オプションがご覧になれます。


お問合せ先
アルバック機工株式会社
東日本営業部　　TEL 045-533-0205　FAX 045-533-0204
西日本営業部　　TEL 06-6350-2166　FAX 06-6350-2169
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