ランゲージ ホーム 企業情報 製品情報（油回転真空ポンプ・ドライ真空ポンプ・真空機器・オプショナルパーツ） メンテナンスサービス 中古機売買 イベント 真空豆知識 リクルート お問合せ・資料請求 サイトマップ

> > 製品案内 > > 機器 menu
 仕様｜寸法図｜排気系統図｜オプション 前頁｜次頁

ターボ分子ポンプ小型高真空排気装置　VPT-030
ドライ型

　
概　　要
近年、半導体・分析・検査・理化学・製薬等各分野において、オイルレスのクリーンな真空が求められています。これらのうちで、特に高真空を必要とする用途のために開発しました。高真空ダイアフラムポンプとターボ分子ポンプの組み合わせで、完全ドライを実現しました。
※ 真空槽の容積が大きい場合や、大気圧から到達圧力での繰返し排気に使用される場合は到達性能が低下することがあります。
補助ポンプとしてVPT-030の排気側にダイアフラム型ドライ真空ポンプDA-15Dを接続してください。

特　　長
１． 完全ドライです。オイルの逆流はありません。
２． 素早い立上がりで、到達圧力まで一気に排気します。
３． 小型、軽量、コンパクトで、卓上でも使えます。
４． 低振動、低騒音です（50dB(A)）。

仕　様
到達圧力 10-4Pa台
排気速度 25L/sec
バックポンプ ダイアフラム型ドライ真空ポンプ　7L／min
始動時間 1min
冷却方式 空冷
周囲温度 5-35℃
吸気口 KF-40
所要電力 単相 100V　0.46kVA
質量 16kg
外形寸法 254mm(W)×319mm(D)×300mm(H)

寸　法　図


排気系統図



オプション
このページの先頭ヘ

●ピラニ真空計

●電離真空計

真空配管用部品

 オプション
前頁｜次頁
> home > > 製品案内 > > 機器 menu

Copyright (C)2003 ULVAC KIKO, Inc. All Right Reserved.　 Ver.3.00（2006年11月1日改訂）
●本サイトに使用している製品の写真、内容、仕様は実際の販売商品とは異なる場合があります。
●技術改良のため、予告なく変更する場合があります。あらかじめご了承ください。