ランゲージ ホーム 企業情報 製品情報（油回転真空ポンプ・ドライ真空ポンプ・真空機器・オプショナルパーツ） メンテナンスサービス 中古機売買 イベント 真空豆知識 リクルート お問合せ・資料請求 サイトマップ

> > 製品案内 > > 機器 menu
 仕様｜寸法図｜オプション 前頁｜次頁

小型高真空排気装置　VPC-400
高速型

　
概　　要
パイプフレームに必要機器をコンパクトに収納した、高真空排気装置です。取扱い、保守点検が容易で実験用に最適です。
※ ドライ仕様等ご要望に応じてカスタマイズいたします。お気軽にお問い合わせください。

特　　長
１． コンパクトで移動が容易です。
２． 振動がほとんどありません。振動の少ない直結型ゲーテポンプ使用のうえ、防振ゴム付です。
３． オプションが豊富です。真空容器との接続部品を各種用意しております。「オプションページ」をご参照ください。
４． オプション付加により、真空蒸着装置として使用できます。

仕　様
到達圧力 10-4Pa台
10-5Pa（液体窒素使用時）
油拡散ポンプ 400 L/sec
油回転真空ポンプ 200 L/min(GLD-201A)
メインバルブ 100Aクラッパーバルブ・VPC-400A空圧作動バルブ
三方バルブ 20A三方バルブ
液体窒素トラップ オプション
所要電力 ３相 200V 1.35kVA
所要水量 2 L/min
質量 63kg
外形寸法 530mm(W)×480mm(D)×780mm(H)

寸　法　図
　


オプション
このページの先頭ヘ

●ピラニ真空計

 ●吸気口フランジ　KF-40
●液体窒素トラップ ●オイルミストトラップ
●電離真空計 ●フロースイッチ

真空配管用部品

 オプション

前頁｜次頁
> home > > 製品案内 > > 機器 menu

Copyright (C)2003 ULVAC KIKO, Inc. All Right Reserved.　 Ver.3.00（2006年11月1日改訂）
●本サイトに使用している製品の写真、内容、仕様は実際の販売商品とは異なる場合があります。
●技術改良のため、予告なく変更する場合があります。あらかじめご了承ください。