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仕様寸法図オプション 前頁次頁

小型高真空排気装置 VPC-400
高速型

 
概  要
パイプフレームに必要機器をコンパクトに収納した、高真空排気装置です。取扱い、保守点検が容易で実験用に最適です。
ドライ仕様等ご要望に応じてカスタマイズいたします。お気軽にお問い合わせください。

特  長
1. コンパクトで移動が容易です。
2. 振動がほとんどありません。振動の少ない直結型ゲーテポンプ使用のうえ、防振ゴム付です。
3. オプションが豊富です。真空容器との接続部品を各種用意しております。「オプションページ」をご参照ください。
4. オプション付加により、真空蒸着装置として使用できます。

仕 様
到達圧力 10-4Pa台
10-5Pa(液体窒素使用時)
油拡散ポンプ 400 L/sec
油回転真空ポンプ 200 L/min(GLD-201A)
メインバルブ 100Aクラッパーバルブ・VPC-400A空圧作動バルブ
三方バルブ 20A三方バルブ
液体窒素トラップ オプション
所要電力 3相 200V 1.35kVA
所要水量 2 L/min
質量 63kg
外形寸法 530mm(W)×480mm(D)×780mm(H)

寸 法 図
 


オプション
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