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小型真空蒸着装置　VPC-260F
標準型

　
概　要
VPCシリーズの小型高真空排気装置に真空容器、蒸着用電源、蒸着用電極、液体窒素トラップを付属させ、真空蒸着装置としたものです。オプションパーツを組み合わせることにより、機能の拡大が可能です。

ドライ仕様等ご要望に応じてカスタマイズいたします。お気軽にお問い合わせください。

特　長
１． 取扱いが非常に容易で、どなたでも蒸着を行うことができます。
２． ガラスベルジャーの採用により、内部が見やすく各種実験に最適です。

仕　様
排気セット VPC-250F
ベルジャー内径 Dia.300×300H
到達圧力 6.6×10-4Pa（液体窒素使用時）
排気時間 1.3×10-3Paまで20分（液体窒素使用時）
蒸着用電源 0〜10V / MAX 150A
外形寸法：480（W）×320（D）×149（H）
質量：23Kg
所要電力 本体 単相 100V 1.35kVA
蒸着用電源 単相 200V 1.5kVA
蒸発電極 １点式（2〜3点式オプション）
所要水量 空冷
質量 75kg
外形寸法 530mm(W)×480mm(D)×1135mm(H)


寸　法　図




真空槽内部基本構成




オプション
■専用コンポーネント ●蒸発電源 SEREM「PSE-150C」
●成膜コントローラー「CRTM-6000」「CRTM-9000」
●膜厚センサー「CRTS-4」
●電離真空計「GI-TL3」
●ピラニー真空計「GP-1G」
■専用パーツ・その他 ●試料ホルダー●ベルジャーカバー●ベルジャーホルダー●防着板●電離真空計測定子カバー●ハーメチックシールポートセット●ゲージポートセット●Dia. 15GPアタッチメント排気装置用●封止栓セット●インライントラップ●オイルミストトラップ●16ポートフィールドスルカラー●電極セット及びフィラメントホルダー（1〜3点）●基板加熱セット●金属ベルジャー（4タイプ）●ベルジャー昇降装置●計器用ラック●カーボン電極セット
■電極構成例 ●2点式スペシャル●2点式●3点式

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