ランゲージ ホーム 企業情報 製品情報（油回転真空ポンプ・ドライ真空ポンプ・真空機器・オプショナルパーツ） メンテナンスサービス 中古機売買 イベント 真空豆知識 リクルート お問合せ・資料請求 サイトマップ

> > 製品案内 > > 機器 menu
 仕様｜寸法図｜真空槽内部基本構成｜オプション 前頁｜次頁
高速型真空蒸着装置　VPC-1100
高速型

　
概　　要

作業効率に優れた高速型の真空蒸着装置です。基板加熱装置、成膜コントローラー等各種オプション対応が可能です。

特　　長
１． 排気時間が短く、作業効率の良い装置です。
・ 大気圧から10-4Pa台まで10分間で排気
・ 液体窒素トラップは10時間対応の大容量
・ 実験終了後15分間で冷却水が止められます
２． 蒸発電源は3点切替式で、多層蒸着が可能です。
３． 機能拡張性に優れています。
・ 蒸発電源の追加により、同時蒸着、多層蒸着が可能
・ コンフラットフランジ用予備ポート2個、サービスポート4個、電極予備ポート4個
４． コンパクトで装置全体の移動が容易です。

仕　様
到達圧力 1.3×10-4Pa以下（液体窒素使用時）
排気時間 大気圧から10-4Pa台まで10分以内（液体窒素使用時）
ベルジャー内径 Dia.390mm×350mm (H)
蒸着用電源 0〜10V 150A
排気系 6インチ D.P. 1100L/sec （ULK-06A）
GLD-201A 2台　400L/min
6インチ液体窒素トラップ
操作系 排気手動操作
圧力測定系 ピラニ真空計　GP-1G
所要電力 ３相 200V　5kVA
単相 100V　1kVA
所要水量 200kPa 1.5L/min　20℃以下
質量 約315kg
外形寸法 1145mm(W)×750mm(D)×2155mm(H)
付属品 ３相　200V 　圧着端子付　4ｍ
単相　100V　アース付コンセント付

寸　法　図

真空槽内部基本構成
　
[1] 受皿
[2] フィルター
[3] サービスポート（L）
[4] サービスポート（S）
[5] ゲージポート
[6] ハーメチックポート
[7] シャッター
[8] 電極コモン
[9] 電極　１
[10] 電極　２
[11] 電極　３

オプション
■専用コンポーネント ●蒸発電源 SEREM「PSE-150C」
●成膜コントローラー「CRTM-6000」「CRTM-9000」
●膜厚センサー「CRTS-4」
●電離真空計「GI-TL3」
■専用パーツ・その他 ●防着板●電離真空計測定子カバー●電極仕切り板●水冷コイル付金属ベルジャー● UFC070フランジ● オイルミストトラップ（「OMI-200」「OMT-200A」）● 試料ホルダー●側面・背面パネル●追加用シャッター●電子ビーム蒸発源・電源●基板加熱装置●サービスポート用ガス導入ポート●計器用ラック●カーボン電極　セット
■電極構成例 ●蒸発電極1点式＋2点切替式●蒸発電極2点切替式＋2点切替式●蒸発電極2点切替式＋3点切替式
前頁｜次頁
> home > > 製品案内 > > 機器 menu

Copyright (C)2003 ULVAC KIKO, Inc. All Right Reserved.　 Ver.3.00（2006年11月1日改訂）
●本サイトに使用している製品の写真、内容、仕様は実際の販売商品とは異なる場合があります。
●技術改良のため、予告なく変更する場合があります。あらかじめご了承ください。