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小型真空蒸着装置
VPC-060/VPC-060A
卓上型／卓上自動型

　
概　要
VPCシリーズの小型高真空排気装置に真空容器、蒸着用電源、蒸着用電極、液体窒素トラップを付属させ、真空蒸着装置としたものです。オプションパーツを組み合わせることにより、機能の拡大が可能です。

ドライ仕様等ご要望に応じてカスタマイズいたします。お気軽にお問い合わせください。

特　長
１． 取扱いが非常に容易で、どなたでも蒸着を行うことができます。
２． ガラスベルジャーの採用により、内部が見やすく各種実験に最適です。
３． 「VPC-060／060A」は、卓上型の真空蒸着装置です。超小型のため、機能の拡張性には欠けますが卓上で手軽に使用できます。

仕　様
　 VPC-060 VPC-060A
排気セット VPC-050相当 VPC-050A相当
ベルジャー内径 Dia.150×200H
到達圧力 6.6×10-4Pa（液体窒素使用時）
排気時間 1.3×10-3Paまで20分（液体窒素使用時）
蒸着用電源 0〜10V / MAX 150A
外形寸法：480（W）×320（D）×149（H）
質量：23Kg
所要電力 本体 単相 100V 0.6kVA
蒸着用電源 単相 200V 1.5kVA
蒸発電極 １点式
所要水量 空冷
質量 22kg 28kg
外形寸法 350mm(W)×320mm(D)×663mm(H)

寸　法　図
図はVPC-060


オプション
■専用コンポーネント ●電離真空計「GI-TL3」
●ピラニ真空計「GP-1G」
■専用パーツ・その他 ●試料ホルダー(VPC-060用)
●ベルジャーカバー(VPC-060用)
●オイルミストトラップ「OMT-050A」

オプション
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