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仕様空冷式油拡散ポンプ寸法図排気系統図オプション 前頁次頁

小型高真空排気装置
 VPC-050/VPC-050A
卓上型/卓上自動型


VPC-050
 
概  要
パイプフレームに必要機器をコンパクトに収納した、高真空排気装置です。取扱い、保守点検が容易で実験用に最適です。
ドライ仕様等ご要望に応じてカスタマイズいたします。お気軽にお問い合わせください。

特  長
1. コンパクトで移動が容易です。
2. 振動がほとんどありません。振動の少ない直結型ゲーテポンプ使用のうえ、防振ゴム付です。
3. オプションが豊富です。真空容器との接続部品を各種用意しております。「オプションページ」をご参照ください。
4. オプション付加により、真空蒸着装置として使用できます。

仕 様
  VPC-050 VPC-050A
到達圧力 7.0×10-4Pa
1.5×10-4Pa(液体窒素使用時)
油拡散ポンプ 50 L/sec (DPF-050)
油回転真空ポンプ 20 L/min(G-20DA)
メインバルブ 25Aバタフライバルブ
三方バルブ 10A三方バルブ
液体窒素トラップ オプション
所要電力 単相 100V 0.6kVA
所要水量 空冷
質量 16kg 22kg
外形寸法 346mm(W)×316mm(D)×361mm(H)


空冷式油拡散ポンプ
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型   式 DPF-050
到達圧力 10-5Pa
最大排気速度 50L/sec
臨界背圧 13Pa
所要電力 単相 100V 0.25kW
使用オイル SY 20cc
質量 1.8kg
吸気フランジ VG-25
排気口径 Dia.14


寸 法 図

 VPC-050


排気系統図

 VPC-050  VPC-050A


オプション
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ピラニ真空計
液体窒素トラップ
電離真空計
吸気口フランジ KF-40、KF-25
オイルミストトラップ

 

オプションで粗引ラインの
ゲージポートを付加できます

真空配管用部品

オプション


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