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 仕様｜寸法図｜真空槽内部構成｜オプション 次頁
真空蒸着装置　DEPOX Series
高速型

　
概　　要

小型真空蒸着装置VPCシリーズのデザインと機能を一新した、新型真空蒸着装置です。
ご要望に応じてカスタマイズいたします。お気軽にお問い合わせください。


特　　長
１． 排気系の組合せ選択が可能です。
２． 真空計や膜厚計等、各種機能の拡張性に優れています。
３． 新型バルブの採用により、信頼性が向上しました。
４． 装置の安全性が向上しました。

標　準　仕　様
型　　式 VFR-200M/ERH VTR-350M/ERH VTS-350M/ERH
真
空
性
能		 到達圧力 4.0×10−4Pa
2.0×10−4Pa
（液体窒素使用時）		 4.0×10−4Pa 4.0×10−4Pa
排気時間 4.0×10−3Pa/10min
3.0×10−3Pa/10min
（液体窒素使用時）		 4.0×10−3Pa/10min 4.0×10−3Pa/10min
真
空
槽		 真空槽 ガラスベルジャー
（Dia. 300×300H)		 ガラスベルジャー
（Dia. 300×300H）		 ガラスベルジャー
（Dia. 300×300H）
フィードスルカラー 12ポート(側面8/底面4)
（φ300×100H)		 12ポート（側面8/底面4）
（φ300×100H）		 12ポート(側面8/底面4）
（φ300×100H）
電
源
系		 蒸発電極構成 1点式 1点式 1点式
蒸発電源・数量 PSE-150M・1式 PSE-150M・1式 PSE-150M・1式
0〜10V　150A（Max) 0〜10V　150A（Max） 0〜10V　150A（Max）
排
気
系		 メインポンプ 油拡散ポンプ
DPF-200
（200L/sec)		 ターボ分子ポンプ
TURBOVAC-361
（345L/sec）		 ターボ分子ポンプ
TURBOVAC-361
（345L/sec）
液体窒素トラップ 有り オプション オプション
補助ポンプ 油回転真空ポンプ
G-100（100L/min）		 油回転真空ポンプ
GLD-201B（200L/min）		 スクロールポンプ
DIS-250（250L/min）
オイルミストトラップ インライン型
オイルミストトラップ
OMI-100		 インライン型
オイルミストトラップ
OMI-200		 −
操
作
系		 メインバルブ 65Aバタフライバルブ 100Aバタフライバルブ 100Aバタフライバルブ
補助バルブ 三方向バルブ 三方向バルブ 三方向バルブ
自動リークバルブ オプション 有り 有り
操作 手動 手動 手動
制
御
系		 ピラニ真空計 GP-1G GP-1G GP-1G
電離真空計 GI-TL3 GI-TL3 GI-TL3
設
置		 外形寸法　 　本体 W730×D584×H1178 W730×D584×H1178 W730×D584×H1178
　　　　　 　電源 W480×D320×H149 W480×D320×H149 W480×D320×H149
電力　　　 　本体 単相　100V　1.4kVA 単相　100V　1.4kVA 単相　100V　0.9kVA
　　　　　 　電源 単相　200V　1.0kVA 単相　200V　1.0kVA 単相　200V　1.0kVA

寸　法　図
■VTR-350M/ERH

■操作盤寸法図（オプション）

※Optional partsは標準装備していません。

真空槽内部構成
基本構成

　
特型構成例



オプション
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■電極構成 ●2点切替●2点同時●3点切替●3点同時●1点＋2点切替●2点切替＋2点切替●2点切替＋1点＋1点
■フィードスルカラー ●20ポート(側面16/底面4)(Dia. 300×100H)
■真空槽系 ●ベルジャーホルダー●ベルジャーカバー●金属ベルジャー●その他
■真空槽内部治具系 ●試料ホルダー●防着板●電極仕切り板●ゲージポートセット●ハーメチックポートセット●封止フランジセット●UFC070アダプター●NW25アダプター●ガス導入ポート●カーボン電極セット●基板加熱装置350℃
■装置外部系 ●昇降装置●側面パネル●裏面パネル●成膜コントローラ●制御操作盤●操作盤用側面パネル●操作盤用裏面パネル
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