小型真空機器 ご要求に応じて各種装置の設計・製作をいたします。 お気軽にお問い合わせください。 ■真空蒸着装置 真空蒸着装置 DEPOXシリーズ 高速型真空蒸着装置 VPC-1100 小型真空蒸着装置 卓上型／卓上自動型 VPC-060/060A　 標準型 VPC-260F 高速型 VPC-410 ■小型有機EL膜成膜装置 有機膜専用機 EROLA-100 電極膜専用機 EROLA-200 蒸着室＋ロードロック室 EROLA-500 　 ■小型スパッタリング装置 高周波マグネトロンスパッタリング装置 SCOTT-C1 SCOTT-C3 小型高周波スパッタリング装置 RFS-200 小型イオンスパッタリング装置 VPS-020/050 ■小型真空排気装置 小型真空排気装置 卓上型／卓上自動型 VPC-050/050A 標準型／標準自動型 VPC-250F/250FA 高速型 VPC-400 ターボ分子ポンプ 小型高真空排気装置 小型ドライ型 VPT-030 − VPT-050 小型メカニカルブースターポンプ排気装置 VPM-030 VPM-050 ■アスピレーター ポータブル アスピレーター − MDA-015 MDA-050 溶媒回収型 アスピレーター 耐食型 MDA-020C このページの先頭へ

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