シンプル構造で大学や研究機関の実験機に選ばれている真空機器 小型真空機器一覧 ご要求に応じて、排気装置、蒸着装置、スパッタ装置の設計・製作をいたします。 排気装置（ＶＰＣ）｜排気装置（ＤＥＰＯＸ）｜ＴＭＰ排気装置｜メカブ排気装置 卓上型／小型蒸着装置（ＶＰＣ）｜小型蒸着装置（ＤＥＰＯＸ）｜高速型蒸着装置 スパッタ装置｜アスピレーター 高真空排気装置　ＶＰＣシリーズ 型　式 メインポンプ 補助ポンプ 特　長 VPC-050 油拡散ポンプ（空冷） 油回転真空ポンプ パイプフレームに油拡散ポンプ・油回転真空ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、低コストタイプの小型高真空排気装置です。取扱いや保守点検が容易で実験用に最適です。 VPC-050A 油拡散ポンプ（空冷） 油回転真空ポンプ VPC-250F 油拡散ポンプ（空冷） 油回転真空ポンプ 小型真空機器一覧の先頭へ 高真空排気装置　ＤＥＰＯＸシリーズ　 型　式 メインポンプ 補助ポンプ 特　長 VFR-200M/X 油拡散ポンプ（空冷） 油回転真空ポンプ 架台内にメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、小型の高真空排気装置です。ＤＥＰＯＸシリーズは、排気系の構成が異なる４タイプを用意しています。取扱いが容易で実験用に最適です。 VWR-400M/X 油拡散ポンプ（水冷） 油回転真空ポンプ VTR-350M/X ターボ分子ポンプ（空冷） 油回転真空ポンプ VTS-350M/X ターボ分子ポンプ（空冷） スクロール型 ドライ真空ポンプ 小型真空機器一覧の先頭へ ターボ分子ポンプ排気装置 　ＶＰＴシリーズ 型　式 メインポンプ 補助ポンプ 特　長 VPT-030 ターボ分子ポンプ（空冷） ダイアフラム型 ドライ真空ポンプ 架台内にターボ分子ポンプ・ドライ真空ポンプ・バルブ配管・電気系等の必要機器をコンパクトに収納した、ドライタイプで小型の高真空排気装置です。半導体・分析・検査・理化学・製薬等の各分野における、クリーンな真空環境に最適です。 小型真空機器一覧の先頭へ メカニカルブースターポンプ排気装置　ＶＰＭシリーズ 型　式 メインポンプ 補助ポンプ 特　長 VPM-050 メカニカルブースター ポンプ 油回転真空ポンプ 簡易架台にメカニカルブースターポンプ・油回転真空ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、小型のメカニカルブーターポンプ排気装置です。 小型真空機器一覧の先頭へ 卓上型／小型真空蒸着装置　ＶＰＣシリーズ 型　式 メインポンプ 補助ポンプ 特　長 VPC-060 油拡散ポンプ（空冷） 油回転真空ポンプ パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。小さい基板サイズの基礎研究開発等の実験用に最適です。 VPC-060A 油拡散ポンプ（空冷） 油回転真空ポンプ VPC-260F 油拡散ポンプ（空冷） 油回転真空ポンプ 小型真空機器一覧の先頭へ 小型真空蒸着装置　ＤＥＰＯＸシリーズ 　 型　式 メインポンプ 補助ポンプ 特　長 VFR-200M/ERH 油拡散ポンプ（空冷） 油回転真空ポンプ 架台内にメインポンプ・補助ポンプ・ピラニ真空計・電離真空計・バルブ配管・電気系等の必要機器をコンパクトに収納した、抵抗加熱式で小型の真空蒸着装置です。ＤＥＰＯＸシリーズは、排気系の構成が異なる４タイプを用意しています。取扱いが容易で基礎研究開発等の実験用に最適です。 VWR-400M/ERH 油拡散ポンプ（水冷） 油回転真空ポンプ VTR-350M/ERH ターボ分子ポンプ（空冷） 油回転真空ポンプ VTS-350M/ERH ターボ分子ポンプ（空冷） スクロール型 ドライ真空ポンプ 小型真空機器一覧の先頭へ 高速型真空蒸着装置　ＶＰＣシリーズ 型　式 メインポンプ 補助ポンプ 特　長 VPC-1100 油拡散ポンプ（水冷） 油回転真空ポンプ 架台内に油拡散ポンプ・油回転真空ポンプ・ピラニ真空計・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納し、ベルジャー昇降装置等を装備している、抵抗加熱式で高速型の真空蒸着装置です。大きい基板サイズの基礎研究開発等の実験用に最適です。 小型真空機器一覧の先頭へ 高周波スパッタリング装置　ＳＣＯＴＴ・ＲＦＳシリーズ 型　式 メインポンプ 補助ポンプ 特　長 SCOTT-C3 ターボ分子ポンプ（空冷） 油回転真空ポンプ ＲＦ電源を搭載した小型の高周波スパッタリング装置です。金属、半導体、絶縁物の成膜が可能なため、基礎研究開発等の実験用に最適です。 RFS-200 油拡散ポンプ（水冷） 油回転真空ポンプ 小型真空機器一覧の先頭へ アスピレーター　ＭＤＡシリーズ 型　式 メインポンプ 補助ポンプ 特　長 MDA-015 ダイアフラム型 ドライ真空ポンプ − ダイアフラム型ドライ真空ポンプを内蔵したポータブルアスピレーターです。ロータリーエバポレーター、遠心エバポレーター、真空ろ過等の減圧に最適です。 小型真空機器一覧の先頭へ

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