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小型真空機器
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真空蒸着装置

真空蒸着装置 DEPOXシリーズ
高速型真空蒸着装置 VPC-1100
小型真空蒸着装置 卓上型/卓上自動型 VPC-060/060A 
標準型 VPC-260F
高速型 VPC-410


小型有機EL膜成膜装置
有機膜専用機 EROLA-100
電極膜専用機 EROLA-200
蒸着室+ロードロック室 EROLA-500  


小型スパッタリング装置
高周波マグネトロンスパッタリング装置 SCOTT-C1
SCOTT-C3
小型高周波スパッタリング装置 RFS-200
小型イオンスパッタリング装置 VPS-020/050


小型真空排気装置
小型真空排気装置 卓上型/卓上自動型 VPC-050/050A
標準型/標準自動型 VPC-250F/250FA
高速型 VPC-400
ターボ分子ポンプ
小型高真空排気装置
小型ドライ型 VPT-030
VPT-050
小型メカニカルブースターポンプ排気装置 VPM-030
VPM-050


アスピレーター
ポータブル
アスピレーター
MDA-015
MDA-050
溶媒回収型
アスピレーター
耐食型 MDA-020C


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