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 仕様 前頁｜次頁

小型有機EL膜成膜装置　ELORA-500（蒸着室＋ロードロック室）
  

　
概　要
有機EL膜の研究開発・試作に必要な機能を備えた蒸着装置です。
有機膜専用機と電極膜専用機がございます。

特　長
１． 蒸着室とロードロック室の2室構成
２． 蒸着室の追加拡張（2室まで）が可能
３． 最大8層、多元同時蒸着可能（蒸発源：8点）
４． 専用密閉キャリアにより、真空のまま外部移送が可能
５． ドライスクロール、ターボ分子ポンプでクリーンな排気


仕　様
到達圧力 4.0×10-4Pa
真空槽 ロードロック室の2室、水平搬送機構付
基板サイズ □70×t2mm 1枚
基板電極 抵抗加熱式蒸発源、標準8点（有機膜6点、金属膜2点）
標準電極間隔 10 ×80mm 、T/S 間距離、250 〜300mm
蒸発電源 有機膜用：DC400W ・2 式、金属膜用：AC1.5kW ・1 式
真　空　計 蒸着室：電離真空計GI-TL3 、ピラニー真空計GP-1G
ロードロック：ピラニー真空計 、ブルドン管連成計
排　気　系 蒸着室：TMP(600L/s)＋スクロール型ドライ真空ポンプ 250L/min
ロードロック：スクロール型ドライポンプ 90L/min
本体寸法 1620mm（W）×650mm（D）×1550mm（H）（制御盤別）
質　　　量 400kg（本体）、150kg（制御盤）
電　　　力 単相　100V 、3kVA 、3相　3kVA （50/60Hz ）
特別仕様 蒸着室（有機膜・金属膜分割）：真空槽3室（蒸着室2室＋ロードロック室）、基板・ボートの温度モニター、基板収納キャリア追加、ガス導入、真空排気系変更、可動マスク、その他


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