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小型有機EL膜成膜装置　ELORA-200（電極膜専用機）

　
概　要
有機EL膜の研究開発・試作に必要な機能を備えた蒸着装置です。
有機膜専用機と電極膜専用機がございます。

特　長
１． 2層膜蒸着
２． 膜厚モニタ−
３． オプション対応で最大4層膜・2元同時蒸着可能
４． ターボ分子ポンプで高速排気

仕　様
型式 VTR-300M/2ERH
到達圧力 4.0×10-4Pa（液体窒素未使用時）
ベルジャー内径 Dia. 300×300H
蒸発電極 2点切替式
蒸発電源 AC10V-150A、1.5kW・1式（アナログ表示）
成膜コントローラー 水晶発振式成膜コントローラ　CRTM-6000
真空計 ピラニー真空計GP-1G、電離真空計GI-TL3
排気系 ターボ分子ポンプ300L/s（UTM-300）、油回転真空ポンプ200L/min（GLD-201A）
本体寸法 530mm(W)×480mm(D)×1180mm(H)
所要水量 0.5 L/min
質量 80kg（本体）
電力

単相 100V 0.8kVA、3相 200V 1.2kVA、単相 200V 2.0kVA


寸　法　図




オプション
■専用コンポーネント ●蒸発電源 SEREM「PSE-150C」
●成膜コントローラー「CRTM-6000」「CRTM-9000」
■専用パーツ・その他 ●試料ホルダー●ベルジャーカバー●防着板●電極構成変更●基板加熱装置●真空計変更●排気系ポンプ変更（スクロール型ドライポンプ、油拡散ポンプ）●ベルジャー昇降装置

オプション
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