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小型有機EL膜成膜装置　ELORA-100（有機膜専用機）

概　要

有機EL膜の研究開発・試作に必要な機能を備えた蒸着装置です。
有機膜専用機と電極膜専用機がございます。

特　長

１．	最大4層膜蒸着・2元同時蒸着が可能
２．	膜厚2元同時モニター
３．	蒸発電源は0Vから調整可能
４．	ターボ分子ポンプで高速排気
５．	ドライポンプ対応も可能

仕　様

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型式	VTR-300M/1ERH
到達圧力	4.0×10^-4Pa（液体窒素未使用時）
ベルジャー内径	Dia. 300×300H
蒸発電極	4点式（2点切換＋2点切換）
蒸発電源	DC10V-40A、400W・2式（デジタル表示）
成膜コントローラー	水晶発振式成膜コントローラ　CRTM-9000
真空計	ピラニー真空計GP-1G、電離真空計GI-TL3
排気系	ターボ分子ポンプ300L/s（UTM-300）、油回転真空ポンプ200L/min（GLD-201A）
本体寸法	530mm(W)×480mm(D)×1180mm(H)
所要水量	0.5 L/min
質量	80kg（本体）
電力	単相 100V 1.6kVA、3相 200V 1.2kVA

寸　法　図

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真空槽内部基本構成

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オプション

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■専用コンポーネント	●蒸発電源 SEREM「PSE-150C」 ●成膜コントローラー「CRTM-6000」「CRTM-9000」
■専用パーツ・その他	●試料ホルダー●ベルジャーカバー●防着板●電極構成変更●基板加熱装置●真空計変更●排気系ポンプ変更（スクロール型ドライポンプ、油拡散ポンプ）●ベルジャー昇降装置

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