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幅広い産業分野で利用される真空ポンプ
小型ドライ真空ポンプ排気速度・到達圧力一覧

| ダイアフラム型（スタンダード） | ダイアフラム型（減圧・加圧両用） |
| ダイアフラム型（高真空）| ダイアフラム型（ケミカル） | 揺動ピストン型 |
| 回転翼型 | スクロール型 |メカニカルブースター |

ダイアフラム型ドライ真空ポンプ（スタンダードタイプ）
型式
排気速度
L/min
（50/60Hz）
到達圧力
Pa
特長・用途
DAP-6D
 6/7 6.65×103 〈特長〉
・ 油を使用していないためクリーンな排気が可能です。
・ メンテナンスが容易なため卓上用や大量生産される装置の組込用として多くの用途で使われております。
・ 小型から大型機種までそろえました。用途に応じてお選びいただけます。。
〈用途〉
分析装置サンプラー／デシケータ／ウェハーハンドリング固定／ハンドラー／プローバ／真空乾燥／ロボット／ボンダー／パーティクルカウンター／基板固定／搬送／チップマウンター／プリント基板実装／真空ピンセット／脱ガス脱泡／ハンダ吸引／モールド装置／オフセット印刷／スクリーン印刷／インキ脱泡／真空包装・袋詰め／ラベリング／紙幣カウンター／自動搬送機・工作機チャック／アスピレータ／埋没機／脱泡成形／滅菌器／低周波治療／酸素発生器／吸引器、採尿器／真空ボイラー／リークテスター／生化学分析／ブレーキ倍力装置／etc.
DAP-12S 12/14 24.0×103
DA-15S
12/15
26.6×103
DA-15D
12/15
6.65×103
DA-30S
24/30
26.6×103
DA-20D
20/24
5.3×103
DA-40S
40/46
19.9×103
DA-30D
30/36
6.7×103
DA-60S
60/72
21.3×103
DA-41D 40/46 3.3×103
DA-41DK 40/46 3.3×103
DA-81S 75/85 13.3×103
DA-81SK 75/85 13.3×103
DA-60D
60/72
3.32×103
DA-120S
120/144
13.3×103
DA-121D
120/145
3.3×103
DA-241S
240/260
16.0×103
DAT-50D
50/55
3.3×103
DAT-100S
100/110
13.3×103
DAL-181D
180/210
3.3×103
DAL-361S
360/390
17.3×103

ダイアフラム型ドライ真空ポンプ（減圧・加圧両用タイプ）
DAP-15
15/18
39.9×103
 （減圧・加圧両用タイプ）
・ 0.15MPaまでの加圧が可能な減圧・加圧両用タイプです。
DAP-30
30/36
33.3×103

　
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ（高真空タイプ）
DAU-20
20/23
200
 〈特長〉
・ オイルレスながら、高真空を実現したポンプです。高真空が必要でありながらオイルポンプを使用したくない場合、短時間で一定の真空度まで排気したい場合、狭小場所の吸着ガスを吸引したい場合などに適します。
〈用途〉
インクジェット充填/精密射出成形/広域型ターボのバック/分析機器/生化学分析/ガス充填/真空乾燥/エバポレータ/etc.
DAM-010
7/8
400
DAU-100
100/110
266
DAU-100H
100/110
1.0×103
DTU-20
20/23
200
MD4
50/60
260
MD8
100/120
260
MD4C
40/50
260
MD8C
80/96
260

ダイアフラム型ドライ真空ポンプ（ケミカルタイプ）
DTC-21
20/24
1.0×103
 〈特長〉
・ 接ガス部材質PTFE。高真空・耐食タイプ。
・ 耐食性に優れ、有機溶媒ガスを直接吸引できます。高価な冷却トラップは不要です。吸引ガスを回収するためには、排気側に水冷管を取付ける程度で十分です。
・ 高真空ですから、蒸気圧の低いガスにも十分対応いたします。
〈用途〉
ロータリエバポレータ/真空濃縮/真空ろ過/遠心分離/真空乾燥/特殊ガス排気/充填/清浄ガス充填/有機溶媒ガス吸引排気/etc.
DTC-21K
20/24
1.0×103
DTC-41
40/46
1.0×103
DTC-41K
40/46
1.0×103
DTC-60
60/70
1.0×103
DTC-120
120/140
1.0×103

揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
DOP-9D
9.0/9.8
6.7×103
 〈特長〉
・ スタンダード、加圧専用、減圧・加圧両用の各タイプがあります。
・ 加圧専用タイプは小型のコンプレッサーとしてご利用いただけます。
・ 消耗部品が少なく長寿命です。
・ 低真空領域で安定した圧力が得られます。
〈用途〉
ガス分析/真空包装機 /真空包装/ラベリング/吸引機/チップマウンタ/ネプライザー/酸素濃縮/排ガス分析/冷媒回収/ガス回収/歯科吸引機/etc.
DOP-40D
40/44
1.2×103
DOP-80S
80/88
5.4×103
DOP-80SP
80/84
加圧専用
DOP-200S
200/220
 8.0×103
DOP-50S4 50×4/55×4 8.0×103
DOP-100T 100/110 0.4×103
DOP-100ST 100/110 8.0×103
DOP-50DT 50/55 1.2×103
DOP-50F 50/55 0.27×103
DOP-300S 300/330 8.0×103
DOP-150T 140/160 0.4×103
DTP-45D
45/49
2.7×103
DTP-90S
90/99
9.3×103
DTP-90D
90/99
2.7×103
DTP-180S
180/198
10.0×103
DTP-180SQ
180/198
10.0×103

回転翼型ドライ真空ポンプ
DSB-151
180/200
15.0×103
 〈特長〉
・ 他の方式のドライポンプにくらべ大容量（高排気速度）型のポンプです。
・ さらに他の方式にくらべ脈動が少なく、高速で吸着をくりかえす用途に適します。
〈用途〉
チップマウンター/電子部品実装装置/アスピレータ/自動搬送機/包装機/パーティクルカウンター/パッキングマシン/テープ巻取り/etc.
DSB-251
250/310
15.0×103
DSB-451
430/530
12.0×103
DSB-601
600/700
12.0×103

スクロール型ドライ真空ポンプ
DIS-090 90/108 5.0 〈特長〉
・ オイルレスながらオイルポンプなみの高真空が得られます。
・ 排気速度が大きくクリーンな高真空が可能です。
・ オイルの管理が不要のため、オイルポンプにくらべメンテ費用が低減。エネルギーコストも大幅低減されます。
〈用途〉
ターボのバック/真空蒸着/スパッタ/イオン注入/電子顕微鏡/各種分析装置/液晶注入/ ロードロック室排気/真空乾燥/プラズマクリーナー /etc.
DIS-251 250/300 1.6
DIS-501 500/600 1.0
DVT-300
300
6.7
DISL-100 100/120 50.0
DISL-500 430/520 10.0
注）スクロール型の排気速度は設計排気速度を表示しています。

メカニカルブースターポンプ
MBS-030
500/600
4.0×10-2
 〈特長〉
・ バックポンプとの組み合わせにより、油回転真空ポンプを超える高真空が得られます。排気速度が非常に早く、高速／高真空が必要な用途に適します。
〈用途〉
レーザー機器/ガス循環器/液晶注入装置/真空乾燥/真空脱泡/真空熱処理/ガス雰囲気炉/リークテスター/etc.
MBS-050
833/100
4.0×10-2


アルバック機工株式会社
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