幅広い産業分野で利用される真空ポンプ 小型ドライ真空ポンプ排気速度・到達圧力一覧 | ダイアフラム型（スタンダード） | ダイアフラム型（減圧・加圧両用） | | ダイアフラム型（高真空）| ダイアフラム型（ケミカル） | 揺動ピストン型 | | 回転翼型 | スクロール型 |メカニカルブースター | ダイアフラム型ドライ真空ポンプ（スタンダードタイプ） 型式 排気速度 L/min （50/60Hz） 到達圧力 Pa 特長・用途 DAP-6D 6/7 6.65×103 〈特長〉 ゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクターを内蔵し、安全面も配慮しました。シンプル構造でメンテナンスも容易です。 〈用途〉 分析装置サンプラー／デシケータ／ウェハーハンドリング固定／ハンドラー／プローバ／真空乾燥／ロボット／ボンダー／パーティクルカウンター／基板固定／搬送／チップマウンター／プリント基板実装／真空ピンセット／脱ガス脱泡／ハンダ吸引／モールド装置／オフセット印刷／スクリーン印刷／インキ脱泡／真空包装・袋詰め／ラベリング／紙幣カウンター／自動搬送機・工作機チャック／アスピレータ／埋没機／脱泡成形／滅菌器／低周波治療／酸素発生器／吸引器、採尿器／真空ボイラー／リークテスター／生化学分析／ブレーキ倍力装置／etc. DAP-12S 12/14 24.0×103 DA-15D 12/15 6.65×103 DA-30S 24/30 26.6×103 DA-30D 30/36 6.7×103 DA-60S 60/72 21.3×103 DAT-50D 50/55 3.3×103 DAT-100S 100/110 13.3×103 DA-20D 20/24 5.3×103 DA-40S 40/46 19.9×103 DA-41D 40/46 3.3×103 DA-81S 75/85 13.3×103 DA-60D 60/72 3.32×103 DA-120S 120/144 13.3×103 DA-121D 120/145 3.3×103 DA-241S 240/260 16.0×103 DAL-181D 180/210 3.3×103 DAL-361S 360/390 17.3×103 ダイアフラム型ドライ真空ポンプ（減圧・加圧両用タイプ） DAP-15 15/18 39.9×103 〈特長〉 減圧、加圧両用のダイアフラム型ポンプです。吸気口に配管すれば真空ポンプとして、排気口に配管すれば加圧ポンプとして使用することができます。 DAP-30 30/36 33.3×103 　 このページの先頭へ ダイアフラム型ドライ真空ポンプ（高真空タイプ） DAU-20 20/23 200 〈特長〉 ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。複数のポンプヘッドを３段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。 〈用途〉 インクジェット充填/精密射出成形/広域型ターボのバック/分析機器/生化学分析/ガス充填/etc. DAU-100 100/110 266 MD4 50/60 260 MD8 100/120 260 このページの先頭へ ダイアフラム型ドライ真空ポンプ（高真空ケミカルタイプ） DTU-20 20/23 200 〈特長〉 高真空タイプのダイアフラム型真空ポンプの接ガス部にＰＴＦＥなどの耐食性の強い部品を使用したケミカルタイプのものです。 〈用途〉 インクジェット充填/精密射出成形/広域型ターボのバック/分析機器/生化学分析/ガス充填/真空乾燥/エバポレータ/etc. MD4C 40/50 260 MD8C 80/96 260 このページの先頭へ ダイアフラム型ドライ真空ポンプ（ケミカルタイプ） DTC-22 20/24 1.0×103 〈特長〉 接ガス部にPTFE等の耐食性に優れた部品を使用した、ケミカルタイプのダイアフラム型真空ポンプです。 〈用途〉 ロータリエバポレータ/真空濃縮/真空ろ過/遠心分離/真空乾燥/特殊ガス排気/充填/清浄ガス充填/有機溶媒ガス吸引排気/etc. DTC-41 40/46 1.0×103 DTC-60 60/70 1.0×103 DTC-120 120/140 1.0×103 このページの先頭へ 揺動ピストン型ドライ真空ポンプ DOP-9D 9.0/9.8 6.7×103 〈特長〉 カップパッキン（特殊樹脂）がシリンダー内を往復運動することにより排気する真空ポンプです。接ガス部には油、水などを使用しないドライタイプの真空ポンプです。 加圧専用タイプもあります。 〈用途〉 ガス分析/真空包装機 /真空包装/ラベリング/吸引機/チップマウンタ/ネプライザー/酸素濃縮/排ガス分析/冷媒回収/ガス回収/歯科吸引機/etc. DOP-40D 40/44 1.2×103 DOP-80S 80/88 5.4×103 DOP-80SP 80/84 加圧専用 DOP-300SA 300/330 8.0×103 DOP-420SA 420/460 17.3×103 このページの先頭へ 回転翼型ドライ真空ポンプ DSB-151 180/200 15.0×103 〈特長〉 特殊カーボンの翼板がシリンダー内を摺動回転することにより排気する真空ポンプです。 比較的小型で大きい排気速度を得ることができます。 〈用途〉 チップマウンター/電子部品実装装置/アスピレータ/自動搬送機/包装機/パーティクルカウンター/パッキングマシン/テープ巻取り/etc. DSB-251 250/310 15.0×103 DSB-451 430/530 12.0×103 DSB-601 600/700 12.0×103 このページの先頭へ スクロール型ドライ真空ポンプ（ダブルラップタイプ） DIS-90 90/108 5.0 〈特長〉 固定された渦巻き型の壁（固定スクロール）に対面したもう一方の渦巻き型の壁（旋回スクロール）が偏芯運動することにより排気する真空ポンプです。旋回スクロールを固定スクロールで挟み込んだダブルラップ方式を採用し、小型で大排気速度を実現しました。数回の圧縮排気を繰り返すことにより、ドライ型の真空ポンプとしては最高レベルの到達圧力を実現しました。 〈用途〉 ターボのバック/真空蒸着/スパッタ/イオン注入/電子顕微鏡/各種分析装置/液晶注入/ ロードロック室排気/真空乾燥/プラズマクリーナー /etc. DIS-251 250/300 1.6 DIS-501 500/600 1.0 注）スクロール型の排気速度は設計排気速度を表示しています。 このページの先頭へ スクロール型ドライ真空ポンプ（シングルラップタイプ） DISL-100 100/120 50.0 〈特長〉 固定スクロールと旋回スクロールがが１枚づつのシングルラップ方式。到達圧力はDISシリーズに比べて高くなりますが、DISシリーズより堅牢な真空ポンプです。 〈用途〉 ターボのバック/真空蒸着/スパッタ/イオン注入/電子顕微鏡/各種分析装置/液晶注入/ ロードロック室排気/真空乾燥/プラズマクリーナー /etc. DISL-500 430/520 10.0 注）スクロール型の排気速度は設計排気速度を表示しています。 このページの先頭へ メカニカルブースターポンプ MBS-050 833/100 4.0×10-2 〈特長〉 粗引きポンプの排気速度が落ち込む圧力領域において、その排気速度を大幅にアップさせることができます。 〈用途〉 レーザー機器/ガス循環器/液晶注入装置/真空乾燥/真空脱泡/真空熱処理/ガス雰囲気炉/リークテスター/etc. このページの先頭へ

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