小型ドライ真空ポンプ一覧
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ダイアフラム型ドライ真空ポンプ ＤＡ（Ｐ・Ｔ・Ｌ）シリーズ
型式 |
排気速度
L/min
（50/60Hz） |
到達圧力
Pa |
１
段
排
気
方
式 |
２
段
排
気
方
式 |
３
段
排
気
方
式 |
接
ガ
ス
部
耐
食
性 |
特 長 |
|
6/7 |
6.65×103 |
− |
● |
− |
− |
| ・ |
豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプのスタンダードタイプ。 |
| ・ |
接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。 |
| ・ |
用途に合わせて選べる豊富なラインナップ。 |
| ・ |
1段排気方式は、2段排気方式より大きい排気速度。 |
| ・ |
2段排気方式は、1段排気方式より低い圧力（良い真空）。 |
| ・ |
サーマルプロテクター内蔵による安全設計。 |
| ・ |
大気圧から作動が可能。 |
| ・ |
シンプル構造で、メンテナンスが容易。 |
|
|
12/14 |
24.0×103 |
● |
− |
− |
− |
|
12/15 |
6.65×103 |
− |
● |
− |
− |
|
24/30 |
26.6×103 |
● |
− |
− |
− |
|
30/36 |
6.7×103 |
− |
● |
− |
− |
|
60/72 |
21.3×103 |
● |
− |
− |
− |
|
50/55 |
3.3×103 |
− |
● |
− |
− |
|
100/110 |
13.3×103 |
● |
− |
− |
− |
|
20/24 |
5.33×103 |
− |
● |
− |
− |
|
40/46 |
19.9×103 |
● |
− |
− |
− |
|
40/46 |
3.3×103 |
− |
● |
− |
− |
|
75/85 |
13.3×103 |
● |
− |
− |
− |
|
60/72 |
3.32×103 |
− |
● |
− |
− |
|
120/144 |
13.3×103 |
● |
− |
− |
− |
|
120/145 |
3.3×103 |
− |
● |
− |
− |
|
240/260 |
16.0×103 |
● |
− |
− |
− |
|
180/210 |
3.3×103 |
− |
● |
− |
− |
|
360/390 |
17.3×103 |
● |
− |
− |
− |
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ ＤＡＰシリーズ
型式 |
排気速度
L/min
（50/60Hz） |
到達圧力
Pa |
１
段
排
気
方
式 |
２
段
排
気
方
式 |
３
段
排
気
方
式 |
接
ガ
ス
部
耐
食
性 |
特 長 |
|
15/18 |
39.9×103 |
● |
− |
− |
− |
| ・ |
配管の接続位置により、真空ポンプまたは加圧ポンプとして使用可能。 |
| ・ |
接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。 |
| ・ |
サーマルプロテクター内蔵による安全設計。 |
| ・ |
大気圧から作動が可能。 |
| ・ |
シンプル構造で、メンテナンスが容易。 |
|
|
30/36 |
33.3×103 |
● |
− |
− |
− |
|
