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小型ドライ真空ポンプ   　・ダイアフラム型ドライ真空ポンプ ＤＡ（Ｐ・Ｔ・Ｌ）シリーズ 　・ダイアフラム型ドライ真空ポンプ ＤＡＰシリーズ 　・ダイアフラム型ドライ真空ポンプ ＤＡＭ・ＤＡＵ・ＭＤシリーズ 　・ダイアフラム型ドライ真空ポンプ ＤＴＵ・ＭＤ－Ｃシリーズ 　・ダイアフラム型ドライ真空ポンプ ＤＴＣシリーズ 　・揺動ピストン型ドライ真空ポンプ ＤＯＰシリーズ 　・回転翼型ドライ真空ポンプ ＤＳＢシリーズ 　・スクロール型ドライ真空ポンプ　 ＤＩＳ・ＤＩＳＬシリーズ

小型真空機器   　・高真空排気装置 ＶＰＣシリーズ 　・高真空排気装置 ＤＥＰＯＸシリーズ 　・ターボ分子ポンプ排気装置 ＶＰＴシリーズ 　・メカニカルブースターポンプ排気装置 ＶＭシリーズ　 　・卓上型／小型真空蒸着装置 ＶＰＣシリーズ 　・小型真空蒸着装置 ＤＥＰＯＸシリーズ 　・高速型真空蒸着装置 ＶＰＣシリーズ 　・高周波スパッタリング装置 ＳＣＯＴＴ・ＲＦＳシリーズ 　・アスピレーター ＭＤＡシリーズ　 　・真空蒸着装置 大型

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