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アルバック機工は小型真空ポンプの専門メーカーです

＝（株）アルバック製品

小型直結型油回転真空ポンプ
・スタンダードタイプ　・高速回転タイプ　・スーパータイプ　・ワールドワイドタイプ　・耐食タイプ　・排気速度200L/min～

　・ダイアフラム型
　・ダイアフラム型　　減圧・加圧両用タイプ
　・ダイアフラム型　　高真空タイプ（1.0kPa～0.4kPa）
　・ダイアフラム型　　ケミカルタイプ
　・揺動ピストン型
　・回転翼型
　・スクロール型
　・メカニカルブースターポンプ
　・メカニカルブースターポンプ大型

小型真空機器
・真空蒸着装置　・小型有機EL膜成膜装置　・小型スパッタリング装置　・小型真空排気装置　・アスピレーター　・真空蒸着装置大型　・スパッタリング装置大型