ポンプ選定の計算式
ポンプの排気原理
真空の圧力単位
このコーナーのQ&Aは、アルバック機工の創立30周年を記念して企画編集した
「真空でなにができるか」
(日刊工業新聞社発行)から抜粋したものです。
※記載の順序や表記方法は一部変更しています。
1. 真空をつくるためのQ&A
Q1-1
真空ポンプにはどのような種類がありますか?
Q1-2
油回転真空ポンプとは?
Q1-3
ダイアフラム型ドライ真空ポンプとは?
Q1-4
揺動ピストン型ドライ真空ポンプとは?
Q1-5
回転翼型ドライ真空ポンプとは?
Q1-6
スクロール型ドライ真空ポンプとは?
Q1-7
メカニカルブースタポンプとは?
Q1-8
ドライポンプの1段式と2段式の違いは?
Q1-9
油回転真空ポンプの1段式と2段式の違いは?
2. 真空排気系をつくるためのQ&A
Q2-1
真空排気系に使用する真空ポンプの選定方法は?
Q2-2
真空容器の排気時間はどのように求めるのですか?
Q2-3
操作圧力はどのようにしてつくるのですか?
Q2-4
配管抵抗は排気速度にどのような影響を及ぼすのですか?
3. 真空排気系を利用するときのQ&A
Q3-1
水分が含まれた凝縮性ガスを吸引したときの対応は?
Q3-2
吸着用として使用したいのですがどのように選定すればよいのですか?
Q3-3
ガスバラストバルブとは何ですか?
Q3-4
油回転真空ポンプで大気圧から排気するときに多量の油煙(オイルミスト)が発生するのを防ぐ方法はありますか?
Q3-5
圧力や流量を調整する方法は?
Q3-6
油回転真空ポンプのオイルはなぜ指定されているのですか?
Q3-7
油回転真空ポンプで使用する油の劣化を防ぐ方法、または交換する目安を教えてください
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