真空ポンプ油は粘性、蒸気圧、全酸価といった項目が重要となります。粘性が変化すれば回転抵抗が変わり、部品同士の隙間を埋めるシール性が悪くなるなどの影響があります。蒸気圧はポンプ自体の到達圧力に影響し、劣化の目安を知るには全酸価の値というものがあります。

一般的に劣化の目安として全酸価の値で判断しますが、ASTMカラー（簡易比色法）といった色合で判断する場合もあります。この場合、油の変色の程度によって劣化を判断します。ただし、ポンプに使用している部品によって劣化はしていないが油の変色が見られるものもあるため、現実には到達圧力の変化によって判断することが必要です。