真空排気系をつくるためのQ&A
Q2.3　操作圧力はどのようにしてつくるのですか？

真空空間を使って何かを作業しようとするとき、一定圧力に排気して必要な圧力を維持しなければなりません。

また特定なガスを流すことにより、特定なガス雰囲気をつくるため、ガス量Q（Pa・L/min）を流すことがあります。そのとき真空系においては、圧力Pと排気速度Sの関係においてQは一定です。

簡単な式で示すと次のようになります。

よって必要な操作圧力を求めるためには、

として計算します。