真空排気系をつくるためのQ&A
Q2.2　真空容器の排気時間はどのように求めるのですか？

密閉された空間を真空にするとき、初めの圧力から必要とする操作圧力まで排気する時間と真空ポンプの大きさを決める必要があります。

真空容器の大きさV（L）を排気速度S（L/min）の真空ポンプで、初めの圧力P₁（Pa）から必要な圧力P₂（Pa）まで排気するための時間t（min）は次の式で計算できます。

この計算をするとき真空ポンプの排気速度Sは圧力領域によって変わるので、そのときはSの大きさにより圧力領域を分けて、t1、t2、t3…に分けて計算して、

真空ポンプの排気速度の大きさを求めたいときには、上式のtとSを入れ換えて次の式で概略の計算ができます。