真空豆知識 > アルバック機工

このコーナーのQ&Aは、アルバック機工の創立30周年を記念して企画編集した
「真空でなにができるか」 (日刊工業新聞社発行)から抜粋したものです。
※記載の順序や表記方法は一部変更しています。

真空排気系をつくるためのQ&A
Q2.1　真空排気系に使用する真空ポンプの選定方法は？

まず選定の項目として、下記を確認します。

1．	真空ポンプの種類では、ドライポンプまたはオイルポンプのどちらがよいか選定します。
2．	プロセス圧力（操作圧力）はどの程度必要であるか。 →これにより大別できますので、真空ポンプを選定します。
3．	目標到達圧力までの排気時間はどれくらいか。
4．	どんな気体を吸引するのか。 →耐食性が必要な場合には、耐食ポンプを選定します。
5．	配管の長さ・コンダクタンスなどによる安全率を考慮します。

以上を踏まえて具体的に選定します。

真空ポンプ選定のフローチャート