高速型真空蒸着装置(VPC-1100)オプショナルパーツ

■コンポーネント

コンポーネント

名　称	用　　　途
●蒸発電源 ＳＥＲＥＭ（セレム）	蒸着用電源（外部自動制御機能付） 仕様選択により成膜コントローラ／温度調節計との組合せで制御が可能
●成膜コントローラ	水晶発振式成膜コントローラ 蒸着中の膜厚をモニタリングし、希望の膜厚制御、および成膜（蒸着）速度が一定に保たれるように蒸発電源へのフィードバック制御
●膜厚センサー（30導入端子付）	水晶発振式成膜コントローラ用センサー １００℃以下の蒸着用
●電離真空計	超高真空領域から中真空領域までの圧力測定用
●ピラニ真空計※	低真空領域の圧力測定用

※ＶＰＣ－１１００に標準搭載しています。

蒸発電源 SEREM このページの先頭へ

PSE-150C

電源電圧 AC 200V 単相 1.5kVA（50/60Hz）許容電圧変動範囲＝±10％ 負荷電流 Max. 150A 制御信号 外部自動制御入力 DC-0～10V/0～100％設定受信インピーダンス 1MΩ 電力制御方式 サイリスタ交流位相制御方式（出力安定精度：±10％・出力変動±2％） 定　格 30分 外形寸法 480mm（W）×360mm（D）×149mm（H）（突起部および付属品は除く） 質　量 約40kg 仕様コード PSE- 15C21111 PSE- 15C31111※ PSE- 15C12211 PSE- 15C22211 PSE- 15C32211 出力ポジション切替機能 2点切替 3点切替 1点切替 2点切替 3点切替 小電力タップ切替機能 オプション オプション 有 有 有 成膜コントローラによる自動制御 オプション オプション 有 有 有 温度指示調節計による自動制御 オプション オプション オプション オプション オプション 出力リモコン オプション オプション オプション オプション オプション ※ＶＰＣ－１１００に標準搭載しています。 ■オプション 　出力ポジション ：蒸発源の電極構成により選定可能です。 　小電力タップ  ：有機物などの小さな出力調整に有効です。 　成膜自動制御 ：成膜コントローラによる出力自動制御用の機能です。 　温度自動制御 ：温調計による出力自動制御用の機能です。 　出力リモコン ：真空槽内を監視しながらの出力調整に有効です。

成膜コントローラー このページの先頭へ

CRTM-6000G CRTM-9000G

CRTM-6000G CRTM-9000G 膜厚・レート分解能 0.04Å(5MHz New Crystal） 0.00550Å(5MHz New Crystal） 0.03Å(6MHz New Crystal） 0.00381Å(6MHz New Crystal） 膜厚表示範囲 0.001～999.9 kÅ 0.001～999.9 kÅ 膜厚最小表示分解能 1 Å 1 Å 蒸着速度表示範囲 0.1～999.9Å/s 0.001～999.9Å/s 取付可能センサ数 1 2（オプション追加で最大8） 質量 3.2 kg 8 kg ユーティリティ AC 85～230V、200VA AC 100V±10％、2A 機 能 膜厚制御 ○ ○ 蒸着速度制御 ○ ○ 蒸着前後のパワー制御 ○ ○ 多層膜蒸着制御 ○ ○ 多元素同時蒸着制御 － ○（オプション追加） 超低レート制御 － ○ TZC機能 － ○ MLC機能 － ○ プログラム保存 － ○

膜厚センサー このページの先頭へ
CRTS-4	ベーキング温度 150℃ （Max） センサヘッド最大寸法 31×19 フランジからの長さ 100～800mm 水冷パイプ直径 4mm 冷却水量 200cc/min 水冷パイプ接栓 シンフレックスチューブ ジョイント1/4 インチ 標準付属品 水晶振動子5枚、オシレータ、ケーブル

電離真空計 このページの先頭へ
GI-M2	測定圧力範囲 5.00×10-8～9.99×10° 測定温度 ±15％ 圧力表示 デジタル表示 電源 AC100V±10％　50/60Hz, 52VA 質量 5.3 kg 外形寸法 240mm(W)×380mm(D)×99mm(H)

ピラニ真空計 このページの先頭へ
GP-1G	測定圧力範囲 0.4 ～ 2700 Pa 測定精度 フルスケールの±3％以内（直線目盛換算） 圧力表示 アナログ表示 電源 AC100～240V　50/60Hz, 10VA 質量 1 kg 外形寸法 100mm(W)×130mm(D)×100mm(H)
GP-1000G	測定圧力範囲 0.4 ～ 2700 Pa 測定精度 ±15％　51～760Pa ±30％　10～1000Pa　（51～760Pa除く） ±50％　0.4～2700Pa　（10～1000Pa除く） 圧力表示 デジタル表示 電源 AC100～240V　50/60Hz, 10VA 質量 1 kg 外形寸法 50mm(W)×238mm(D)×99mm(H)

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■装置外部系

装置外部系

名　称	用　　　途
●ベルジャーカバー※	ガラスベルジャー用取手／ガラス飛散防止
●ガラスベルジャー	薄膜作成用のガラス容器
●金属ベルジャー（水冷コイル付）	ベルジャー内部の過熱防止 （昇降装置が別途必要）
●昇降装置※	ベルジャーの昇降用 （金属ベルジャーは変更必要）
●側面パネル	装置本体の安全規制対処用
●裏面パネル	装置本体の安全規制対処用
●計器ラック	電離真空計と成膜コントローラの簡易収納
●制御操作盤	制御機器の収納
●側面パネル（制御操作盤用）	安全規制対処用
●裏面パネル（制御操作盤用）	安全規制対処用

※ＶＰＣ－１１００に標準搭載しています。
　 ただし、昇降装置はガラスベルジャー対応のため、金属ベルジャーご選定の場合には、仕様変更が必要です。

計器ラック／側面パネル

■ 計器ラック：計測機器の簡易収納用のボックスです。 （※計測機器はオプションです） ■ 側面パネル：装置本体の安全規制対処用です。

金属ベルジャー（水冷コイル付） ■ ベルジャーの過熱防止用です。

制御操作盤 ■ 構成機器の収納用です。（※図中の計測機器およびパネルは、オプションです。）

■真空槽内部治具系

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真空槽内部治具系

名　称	用　　　途
●試料ホルダー	試料の固定
●防着板	真空槽（ベルジャー）内面への薄膜付着防止
●電極仕切り板	蒸発源の仕切り／コンタミネーションの防止
●基板加熱装置／ＳＨ－１３５０Ｆ	基板（試料）の加熱用／設定温度３５０℃（Ｍａｘ）
●基板加熱装置／ＳＨ－１６５０Ｆ	基板（試料）の加熱用／設定温度６５０℃（Ｍａｘ） （金属ベルジャーが別途必要）
●電極基本セット（サービスポート用）	サービスポート導入用電極
●電極基本セット（ベースプレート用）	ベースプレート導入用電極
●ゲージポートセット	φ１８ゲージポート追加用
●ハーメチックシールポート	ハーメチックシールポート追加用
●８Ｐハーメチック	通電用端子
●８Ｐハーメチックソケット	通電用端子ソケット
●封止フランジセット（サービスポート用）	サービスポート封止栓
●封止フランジセット（ベースプレート用）	ベースプレート封止栓
●ＵＦＣ０７０アダプター	０７０コンフラットフランジ取付け用
●ＫＦ２５アダプター	ＫＦ２５フランジ取付け用
●ガズ導入ポート	真空槽内部へのガス導入用
●カーボン電極セット	カーボンの薄膜作成用
●その他	ご要求に応じてカスタマイズいたします。お問合せください。

試料ホルダー

ホルダー A ホルダー B ホルダー C ホルダー ソフトA （□50角落し込みソフト）   ホルダー ソフトB （M4タップ穴ソフト））

■	薄膜を蒸着させたい基板（ガラス・シリコンウエハ等）を取付けるためのホルダーです。

防着板 ■ ベルジャー内部への薄膜付着を防ぎます。

電極仕切り板 ■ 隣接する電極へのコンタミネーション防 止用です。

ＵＦＣ０７０アダプター ■ 070コンフラットフランジ取付け用です。

ハーメチックシールポートセット　 ■ 各種センサーや計測等の電線を真空槽内に導入するシールポートです。

ゲージポートセット ■ ゲージポート追加導入用のセットです。

封止フランジセット ■ 使用しないポートの封止栓です。

基板加熱装置 (ＳＨ－１３５０Ｆ)

■	基板を加熱するための加熱台と計測機器のセットです。

ガス導入ポート ■ 真空槽内部へのガス導入用です。

カーボン電極セット ■ カーボンの薄膜作成用です。

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■電極構成

電極構成

名　称	用　　　途
●蒸発電極３点式	１点＋２点切替蒸着 （２点同時）／単層膜や複合膜および厚膜の作成用
●蒸発電極４点式	２点切替＋２点切替蒸着 （２点同時）／単層膜や複合膜および厚膜の作成用
●蒸発電極５点式	２点切替＋３点切替蒸着 （２点同時）／単層膜や複合膜および厚膜の作成用
●ＥＢ蒸着１点式	高融点材料用１点蒸着 （金属ベルジャーが別途必要）
●ＥＢ蒸着４点式 （切替）	高融点材料用４点切替蒸着 （金属ベルジャーが別途必要）
●ＥＢ蒸着１点式＋抵抗１点式 ※	高融点材料用１点蒸着＋抵抗加熱式１点蒸着 （金属ベルジャーが別途必要）
●ＥＢ蒸着１点式＋抵抗２点式 ※	高融点材料用１点蒸着＋抵抗加熱式２点切替蒸着 （金属ベルジャーが別途必要）
●ＥＢ蒸着４点式＋抵抗１点式※	高融点材料用４点切替蒸着＋抵抗加熱式１点蒸着 （金属ベルジャーが別途必要）
●ＥＢ蒸着４点式＋抵抗２点式 ※	高融点材料用４点切替蒸着＋抵抗加熱式２点切替蒸着 （金属ベルジャーが別途必要）

※抵抗加熱式の蒸発源位置は、真空槽中心からオフセットされた位置での配置構成となります。

■ VPC-1100 ２点＋２点	■ VPC-1100 ２点＋３点	■ VPC-1100装置対応例 　 EB4点＋抵抗2点

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■排気系

排気系

名　称	用　　　途
●ターボ分子ポンプ	メインポンプのドライ化
●自動リークバルブ （補助ポンプ用）	補助ポンプ停止時の大気開放用 （停電時のメインポンプ保護用）
●オイルミストトラップ	油回転真空ポンプ排気口からの油煙流出防止用
●インライントラップ	油回転真空ポンプ排気口からの油煙流出防止および排気ダクト接続対応用

オイルミストトラップ ■ 油回転真空ポンプの運転中に排出される油煙を捕集し、 自動的に真空ポンプ内へ回収できます。

インライントラップ ■ 配管接続型のオイルミストトラップです。 配管接続を行えば、吸引したガスを排気ダクトへ排出できます。 配管しない場合は、キャップを取り付けて通常のオイルミストトラップ としてご使用頂けます。

※その他、ご要求に応じてカスタマイズいたします。お気軽にお問合せください。

お問合せ先

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アルバック機工株式会社 東日本営業部　　TEL 045-533-0205　FAX 045-533-0204 西日本営業部　　TEL 06-6350-2166　FAX 06-6350-2169 E-mailでのお問合せは→こちらから