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専用コンポーネント｜専用パーツその他  

VFR Series　オプショナルパーツ

■専用コンポーネント

　蒸発電源 SEREM このページの先頭へ

PSE-150C




電源電圧 AC 200V 単相 1.5kVA（50/60Hz）許容電圧変動範囲＝±10％
負荷電流 Max. 150A
制御信号 外部自動制御入力 DC-0〜10V/0〜100％設定受信インピーダンス 1MΩ
電力制御方式 サイリスタ交流位相制御方式（出力安定精度：±10％・出力変動±2％）
定　格 30分
外形寸法 480mm（W）×360mm（H）×149mm（H）（突起部および付属品は除く）
質　量 約32kg

仕様コード PSE-15C21111 PSE-15C31111 PSE-15C12211 PSE-15C22211 PSE-15C32211
出力ポジション切替機能 2点切替 3点切替 1点切替 2点切替 3点切替
小電力タップ切替機能 オプション オプション 有 有 有
成膜コントローラによる自動制御 オプション オプション 有 有 有
温度指示調節計による自動制御 オプション オプション オプション オプション オプション
出力リモコン オプション オプション オプション オプション オプション

■自動定出力フィードバック制御
　定電流・定電圧・定電力の切り替えが可能です。
　膜厚計・温調計による自動制御が選択可能です。

PSE-150M


電源電圧 0〜10V　MAX150A
外形寸法 480mm（W）×320mm（D）×149mm（H）（突起部および付属品は除く）
質　量 約23kg


　成膜コントローラー このページの先頭へ
CRTM-6000

CRTM-9000
  CRTM-6000 CRTM-9000
膜厚・レート分解能 0.04Å(5MHz New Crystal） 0.00550Å(6MHz New Crystal）
0.03Å(6MHz New Crystal） 0.00381Å(6MHz New Crystal）
膜厚表示範囲 0.001〜999.9 kÅ 0.001〜999.9 kÅ
膜厚最小表示分解能 1 Å 1 Å
蒸着速度表示範囲 0.1〜999.9Å/s 0.001〜999.9Å/s
取付可能センサ数 1 2（オプション追加で4まで）
質量 3.2 kg 8 kg
ユーティリティ AC 85〜235V AC 100V±10％、2A


　 膜厚センサー このページの先頭へ
CRTS-4
用途 100℃以下の蒸着
ベーキング温度 150℃
センサヘッド最大寸法 Dia.31×19
フランジからの長さ 100〜800mm
水冷パイプ直径 4mm
冷却水量 200cc/min


　電離真空計 このページの先頭へ
GI-TL3
測定圧力範囲 1.3×10-5〜6.7×10-1Pa…WIT
1.3×10-6〜1.3×10-2Pa…WIB
測定温度 直線目盛：±15％
対数目盛：±50％
圧力表示 アナログ表示
電源 AC 100V
71 VA
質量 5.4 kg

　

　 ピラニ真空計 このページの先頭へ
GP-1G
測定圧力範囲 4×10-1〜2.7×103Pa
測定精度 フルスケールの±3％以内（直線目盛換算）
圧力表示 アナログ表示
電源 AC 85〜264V
5VA
質量 1 kg


■専用パーツ・その他

ベルジャーカバー
■ ベルジャーの保護と取手をかねています。
　 ベルジャーホルダー
■ ベルジャーの取り付け、取り外しに便利な取手です。
　 防着板
■ ベルジャーの内面への成膜を防ぎます。

ハーメチックシールポートセット　
■ 各種センサーや計測等の電線を真空槽内に導入するシールポートです。
ゲージポートセット
■ 追加ゲージポートのためのセットです。
その他
●フィードスルカラー
●試料ホルダー
●電極仕切り板
●封止フランジセット
●UFC070アダプター
●NW25アダプター
●昇降装置
●側面パネル
●裏面パネル
●制御操作盤
●操作盤用側面パネル
●操作盤用裏面パネル

　基板加熱装置　350℃
　
金属ベルジャー（4タイプ）
VPC-260F、VPC-410用

サービスポート用ガス導入ポート
　
カーボン電極　セット

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