小型真空蒸着装置(DEPOX)オプショナルパーツ
■ コンポーネント
名 称
用 途
●蒸発電源 ＳＥＲＥＭ（セレム）
蒸着用電源（外部自動制御機能付）
●成膜コントローラ
水晶発振式成膜コントローラ
●膜厚センサー（
水晶発振式成膜コントローラ用センサー
●電離真空計
超高真空領域から中真空領域までの圧力測定用
●ピラニ真空計
低真空領域の圧力測定用
電源電圧
AC 200V 単相 1.5kVA（50/60Hz）許容電圧変動範囲＝±10％
負荷電流
Max. 150A
制御信号
外部自動制御入力 DC-0～10V/0～100％設定受信インピーダンス
1MΩ
電力制御方式
サイリスタ交流位相制御方式（出力安定精度：±10％・出力変動±2％）
定 格
30分
外形寸法
480mm（W）×360mm（D）×149mm（H）（突起部および付属品は除く）
質 量
約40kg
仕様コード
PSE-15C21111
PSE-15C31111
PSE-15C12211
PSE-15C22211
PSE-15C32211
出力ポジション切替機能
2点切替
3点切替
1点切替
2点切替
3点切替
小電力タップ切替機能
オプション
オプション
有
有
有
成膜コントローラによる自動制御
オプション
オプション
有
有
有
温度指示調節計による自動制御
オプション
オプション
オプション
オプション
オプション
出力リモコン
オプション
オプション
オプション
オプション
オプション
■ オプション
出力ポジション
：蒸発源の電極構成により選定可能です。
小電力タップ
：有機物などの小さな出力調整に有効です。
成膜自動制御
：成膜コントローラによる出力自動制御用の機能です。
温度自動制御
：温調計による出力自動制御用の機能です。
出力リモコン
：真空槽内を監視しながらの出力調整に有効です。
CRTM-6000G
CRTM-9000G
膜厚・レート分解能
0.04Å(5MHz New
Crystal）
0.00550Å(5MHz
New Crystal）
0.03Å(6MHz New
Crystal）
0.00381Å(6MHz
New Crystal）
膜厚表示範囲
0.001～999.9 kÅ
0.001～999.9 kÅ
膜厚最小表示分解能
1 Å
1 Å
蒸着速度表示範囲
0.1～999.9Å/s
0.001～999.9Å/s
取付可能センサ数
1
2（オプション追加で最大8）
質量
3.2 kg
8 kg
ユーティリティ
AC 85～230V、200VA
AC 100V±10％、2A
機
膜厚制御
○
○
蒸着速度制御
○
○
蒸着前後のパワー制御
○
○
多層膜蒸着制御
○
○
多元素同時蒸着制御
－
○（オプション追加）
超低レート制御
－
○
TZC機能
－
○
MLC機能
－
○
プログラム保存
－
○
ベーキング温度
150℃ （Max）
センサヘッド最大寸法
フランジからの長さ
100～800mm
水冷パイプ直径
4mm
冷却水量
200cc/min
水冷パイプ接栓
シンフレックスチューブ ジョイント1/4 インチ
標準付属品
水晶振動子5枚、オシレータ、ケーブル
測定圧力範囲
5.00×10-8 ～9.99×10°
測定温度
±15％
圧力表示
デジタル表示
電源
AC100V±10％ 50/60Hz, 52VA
質量
5.3 kg
外形寸法
240mm(W)×380mm(D)×99mm(H)
測定圧力範囲
0.4 ～ 2700 Pa
測定精度
フルスケールの±3％以内（直線目盛換算）
圧力表示
アナログ表示
電源
AC100～240V 50/60Hz, 10VA
質量
1 kg
外形寸法
100mm(W)×130mm(D)×100mm(H)
測定圧力範囲
0.4 ～ 2700 Pa
測定精度
±15％ 51～760Pa
圧力表示
デジタル表示
電源
AC100～240V 50/60Hz, 10VA
質量
1 kg
外形寸法
50mm(W)×238mm(D)×99mm(H)
■ 装置外部系
名 称
用 途
●ベルジャーカバー
ガラスベルジャー用取手／ガラス飛散防止
●ベルジャーホルダー
ガラスベルジャー用取手
●ガラスベルジャー
薄膜作成用のガラス容器
●金属ベルジャー（水冷コイル付）
ベルジャー内部の過熱防止 （昇降装置が別途必要）
●金属チャンバー(角チャンバー)
基板回転対応用／ＥＢ蒸着対応用
●昇降装置
ベルジャーの昇降用 （ベルジャーカバーが別途必要）
●フィードスルカラー ２０ポート
導入ポート増設対応
●側面パネル（装置本体用）
安全規制対処用
●裏面パネル（装置本体用）
安全規制対処用
●制御操作盤
制御機器の収納
●側面パネル（制御操作盤用）
安全規制対処用
●裏面パネル（制御操作盤用）
安全規制対処用
■
ベルジャーの取り付け、取り外しに便利な取手です。
■ ベルジャー昇降動作の作業負担を軽減します。 また、落として破損させてしまう心配が無く、 安全に取付け取外しの作業が可能です。
■
構成機器の収納用です。（※ 図中の計測機器およびパネルは、オプションです。）
■ その他、ご要求に応じてカスタマイズいたします。
■ 真空槽内部治具系
名 称
用 途
●試料ホルダー
試料の固定
●防着板
真空槽（ベルジャー）内面への薄膜付着防止
●電極仕切り板
蒸発源の仕切り／コンタミネーションの防止
●基板加熱装置／ＳＨ－３５０Ｆ
基板（試料）の加熱用／設定温度３５０℃（Ｍａｘ）
●基板加熱装置／ＳＨ－６５０Ｆ
基板（試料）の加熱用／設定温度６５０℃（Ｍａｘ） （金属ベルジャーが別途必要）
●電極基本セット（サービスポート用）
サービスポート導入用電極
●電極基本セット（ベースプレート用）
ベースプレート導入用電極
●ゲージポートセット
φ１８ゲージポート追加用
●ハーメチックシールポート
ハーメチックシールポート追加用
●８Ｐハーメチック
通電用端子
●８Ｐハーメチックソケット
通電用端子ソケット
●封止フランジセット（サービスポート用）
サービスポート封止栓
●封止フランジセット（ベースプレート用）
ベースプレート封止栓
●ＵＦＣ０７０アダプター
０７０コンフラットフランジ取付け用
●ＫＦ２５アダプター
ＫＦ２５フランジ取付け用
●シャッター
シャッター追加用
●ガズ導入ポート
真空槽内部へのガス導入用
●カーボン電極セット
カーボンの薄膜作成用
●その他
基板回転機構など、ご要求に応じてカスタマイズいたします。お問合せください。
■ 薄膜を蒸着させたい基板（ガラス・シリコンウエハ等）を取付けるためのホルダーです。
■
隣接する電極へのコンタミネーション防止用です。
■ 各種センサーや計測等の電線を真空槽内に導入するシールポートです。
■ 基板を加熱するための加熱台と計測機器のセットです。
■ 電極構成
名 称
用 途
●蒸発電極２点式 （切替）
２点切替蒸着／単層膜および積層膜の作成用
●蒸発電極２点式 （同時）
２点同時蒸着／複合膜や単層膜の厚膜作成用
●蒸発電極３点式 （切替）
３点切替蒸着／単層膜および積層膜の作成用
●蒸発電極３点式 （同時）
３点同時蒸着／複合膜や単層膜の厚膜作成用
●蒸発電極３点式 （変則）
１点＋２点切替蒸着 （２点同時）／単層膜や複合膜および厚膜の作成用
●蒸発電極４点式 （変則）
２点切替＋２点切替蒸着 （２点同時）／単層膜や複合膜および厚膜の作成用
●蒸発電極４点式 （変則）
１点＋１点＋２点切替蒸着 （３点同時）／単層膜や複合膜および厚膜の作成用
●ＥＢ蒸着１点式
高融点材料用１点蒸着 （角チャンバーが別途必要）
●ＥＢ蒸着４点式 （切替）
高融点材料用４点切替蒸着 （角チャンバーが別途必要）
■ 排気系
名 称
用 途
●自動リークバルブ （補助ポンプ用）
補助ポンプ停止時の大気開放用 （停電時のメインポンプ保護用）
●液体窒素トラップ
凝縮性気体および逆流オイルの吸着用
●オイルミストトラップ
油回転真空ポンプ排気口からの油煙流出防止用
●インライントラップ
油回転真空ポンプ排気口からの油煙流出防止および排気ダクト接続対応用
■ 装置仕様例
コンポーネント
●蒸発電源 ＳＥＲＥＭ（セレム）
装置外部系
●ベルジャーカバー
●蒸発電源 ＳＴＡＭＡ（スターマ）
●フィードスルカラー ２０ポート
●成膜コントローラ
●側面パネル（装置本体用）
●膜厚センサー（φ３０導入端子付）
●裏面パネル（装置本体用）
真空槽内部治具系
●試料ホルダー
●制御操作盤
●防着板
●側面パネル（制御操作盤用）
●電極仕切り板
●裏面パネル（制御操作盤用）
●封止フランジセット（サービスポート用）
電極構成
●蒸発電極４点式 （変則）
※ その他、ご要求に応じてカスタマイズいたします。お気軽にお問合せください。
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30導入端子付）
31×19
