小型真空排気装置 オプショナルパーツ
■ コンポーネント
名 称
用 途
●電離真空計
超高真空領域から中真空領域までの圧力測定用
●ピラニ真空計
低真空領域の圧力測定用
測定圧力範囲
5.00×10-8 ~9.99×10°
測定温度
±15%
圧力表示
デジタル表示
電源
AC100V±10% 50/60Hz, 52VA
質量
5.3 kg
外形寸法
240mm(W)×380mm(D)×99mm(H)
測定圧力範囲
0.4 ~ 2700 Pa
測定精度
フルスケールの±3%以内(直線目盛換算)
圧力表示
アナログ表示
電源
AC100~240V 50/60Hz, 10VA
質量
1 kg
外形寸法
100mm(W)×130mm(D)×100mm(H)
測定圧力範囲
0.4 ~ 2700 Pa
測定精度
±15% 51~760Pa
±30% 10~1000Pa (51~760Pa除く)
±50% 0.4~2700Pa (10~1000Pa除く)
圧力表示
デジタル表示
電源
AC100~240V 50/60Hz, 10VA
質量
1 kg
外形寸法
50mm(W)×238mm(D)×99mm(H)
■ 排気系
名 称
用 途
●オイルミストトラップ
油回転真空ポンプ排気口からの油煙流出防止用
●インライントラップ
油回転真空ポンプ排気口からの油煙流出防止および排気ダクト接続対応用
●液体窒素トラップ
凝縮性気体および逆流オイルの吸着用
●粗引ゲージポート付 三方向バルブ
粗引き側の真空計測定子の設置用
●自動リークバルブ (補助ポンプ用)
補助ポンプ停止時の大気開放用 (停電時のメインポンプ保護用)
■ 油回転ポンプの排気からの油煙を防ぎます。
適合機種
<OMT-050A>
VPC-050、VPC-050A
<OMT-100A>
VPC-250F、VFR-200M/X
<OMT-200A>
VWR-400M/X、VMR−050、VMD−030
■ 油回転ポンプの排気からの油煙を防ぎます。トラップからの排気も、 室外へ配管できます。
適合機種
<OM I-100>
VPC-250F、VFR-200M/X
<OM I-200>
VWR-400M/X、VMR−050、VMD−030
■ 凝縮性気体および逆流オイルの吸着用 です。
対応機種
VPC-050、VPC-050A
VPC-250F、VFR-200M/X
VWR-400M/X、VTR-350M/X、VTS-350S/X
■ 粗引配管ラインに圧力測定用ゲージポートを組込んだ、三方向バルブです。
ピラニ真空計用測定子(φ18)の取付けが可能です。
■ 変換フランジ
名 称
用 途
●ホース口付きフランジ
真空ゴムホース接続用の口径変更用のフランジ
●クイックカップリング付きフラン
KFフランジ部品接続用の口径変更用のフランジ
A
B
C
適合機種
VF-25
φO.D.15
50
VPC-050
VPC-050A
φO.D.18
VF-65
φO.D.18
100
VPC-250F
VFR-200M/X
φO.D.27
φO.D.30
VF-100
φO.D.27
100
VWR-400M/X
VTR-350M/X、VTS-350M/X
φO.D.30
*材質:SUS-304
注)
フランジ接続に必要なネジは、別途、ご準備ください。
A
B
C
適合機種
VF-25
KF-16
50
VPC-050
VPC-050A
KF-25
VF-40
KF-40
33
VMR-050、VMD-030
VF-65
KF-25
100
VPC-250F
VFR-200M/X
KF-40
KF-50
VF-100
KF-25
100
VWR-400M/X
VTR-350M/X、VTS-350M/X
KF-40
*材質:SUS-304
注)
フランジ接続に必要なネジ・クランプ・センターリング等は、別途、ご準備ください。
■ 配管部品
アルバック機工株式会社
東日本営業部 TEL 045-533-0205 FAX 045-533-0204
西日本営業部 TEL 06-6350-2166 FAX 06-6350-2169
E-mailでのお問合せは→ こちらから
Copyright (C)2003 ULVAC KIKO, Inc. All Right Reserved. Ver.4.00(2011年2月10日改訂)
●本サイトに使用している製品の写真、内容、仕様は実際の販売商品とは異なる場合があります。
●技術改良のため、予告なく変更する場合があります。あらかじめご了承ください。