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専用コンポーネント｜専用パーツその他  

小型有機EL膜成膜装置　オプショナルパーツ

■専用コンポーネント

　蒸発電源 SEREM このページの先頭へ

PSE-150C


電源電圧 AC 200V 単相 1.5kVA（50/60Hz）許容電圧変動範囲＝±10％
負荷電流 Max. 150A
制御信号 外部自動制御入力 DC-0〜10V/0〜100％設定受信インピーダンス 1MΩ
電力制御方式 サイリスタ交流位相制御方式（出力安定精度：±10％・出力変動±2％）
定　格 30分
外形寸法 480mm（W）×360mm（D）×149mm（H）（突起部および付属品は除く）
質　量 約32kg

仕様コード PSE-15C21111 PSE-15C31111 PSE-15C12211 PSE-15C22211 PSE-15C32211
出力ポジション切替機能 2点切替 3点切替 1点切替 2点切替 3点切替
小電力タップ切替機能 オプション オプション 有 有 有
成膜コントローラによる自動制御 オプション オプション 有 有 有
温度指示調節計による自動制御 オプション オプション オプション オプション オプション
出力リモコン オプション オプション オプション オプション オプション

■自動定出力フィードバック制御
　定電流・定電圧・定電力の切り替えが可能です。
　膜厚計・温調計による自動制御が選択可能です。


■専用パーツ・その他

　 試料ホルダー
（VPC-260F、410用）
■ 装置に試料をセットするためのホルダーです。ご要望に応じて加工いたします。
加工例
　加工例

ベルジャーカバー
（VPC-260F、410用）
■ ベルジャーの保護と取手をかねています。
　 防着板
■ ベルジャーの内面への成膜を防ぎます。
ベルジャー昇降装置
VPC-260F、VPC-410用
※ベルジャーカバーも必要

その他
●電極構成変更
●基板加熱装置
●真空計変更
●排気系ポンプ変更（スクロール型ドライポンプ、油拡散ポンプ）


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