オプショナルパーツ 真空ポンプ・真空機器のオプション部品を豊富に取り揃えています。 油回転真空ポンプオプション ●真空ポンプ油 SMR-100/SO-M/R-2/R-7 油回転真空ポンプ専用オイル ●オイルミストトラップ(OMT) 油回転真空ポンプ排気口からの油煙流出防止用 ●インライントラップ(OMI) 排気口からの油煙流出防止および排気ダクト接続対応用 ●オイルミストセパレーター[耐食型](OMC) 耐食型油回転真空ポンプの排気口からの油煙流出防止用 ●アダプター 真空ポンプ排気口ネジ径変換用 ●フォアライントラップ(OFI) 油の逆拡散防止用／粉体や液体の混入防止用 ●吸排気フィルター(SGT) 真空側、排気側いずれにも設置可能なフィルター ●逆止弁 ポンプ油の逆流防止用 （逆流防止機構未対応機種用） ●フィルター付吸気管 真空ポンプ内部への埃混入防止用フィルター ●吸気アダプタ(□40/□50)　KF25アダプタ 真空ポンプ吸気口の口径変換用 ●真空ゴムホース 真空ポンプと容器等との接続用の配管 ●各種吸排気管 真空ポンプ吸気口および排気口の口径変換用 オイルフィルトレーションシステム(UFO-003／UFW-003／UFO-012)関連部品 　　油回転真空ポンプの故障・オイル交換の低減を計ることが可能 ドライ真空ポンプオプション ●ブルドン管真空計 絶対圧力表示のアナログ真空計 ●防振ゴム対応表 振動や衝撃の伝達緩和用 ●ダイアフラム対応表 機種別対応表 真空機器オプション ●DEPOX （VFR／VWR／VTR／VTS） 　小型真空蒸着装置 蒸着装置のカスタマイズ対応品 ●VPC-1100 高速型真空蒸着装置 蒸着装置のカスタマイズ対応品 ●VPC-060／060A／260F 　卓上型・小型真空蒸着装置 蒸着装置のカスタマイズ対応品 ●小型真空排気装置 排気装置のカスタマイズ対応品 真空配管用部品 ● クイックカップリングクランプ/センターリング/ブランクフランジ/ノズル/ニップル/エルボ/ティ/クロス/KF フラ ンジ/変換フランジ（レジューサー）/ゲージポート/リークポート/VCR アダプター/フレキシブルチューブ 真空ポンプや真空機器の配管部品 真空ポンプ・真空機器のオプション部品に関するご質問 kikoinfo@ml.ulvac.com このページの先頭へ

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